EMICON - это оптоэлектронная система мониторинга выбросов плазмы "под ключ", обеспечивающая полный онлайн-анализ и контроль плазменных процессов путем одновременного наблюдения различных видов плазмы в режиме реального времени. Системы EMICON могут быть использованы в качестве инструментов для контроля и анализа плазмы, а также для управления с обратной связью плазменными процессами, такими как PECVD (плазмохимическое осаждение из паровой/газовой фазы), травление, реактивное магнетронное распыление, или задачи, связанные с атмосферной плазмой.

 

Системы EMICON выпускаются в следующих исполнениях:

- EMICON MC - это многоканальные системы, поддерживающие до 8 измерительных каналов и оснащенные передовыми функциями многоканального измерения.

- EMICON HR - это система высокого разрешения, превосходящего сестему MC примерно в 10 раз.

- EMICON SA - это моноблочная система для промышленного применения.

 

Системы могут комплектоваться решениями «под ключ» для экс-вакуумной оптики и вакуумной оптики с применением защитных покрытий.

 

 

Преимущества систем Emicon

Существуют значимые отличия между специализированной системой для мониторинга плазмы и решениями на базе модульных спектрометров:

- Системы EMICON поставляются в комплекте с ПО, которое на месте и в реальном времени обеспечивает доступность спектров оптического излучения плазменных процессов.

- ПО оснащено двухэкранным режимом с окнами мониторинга и управления, а также интуитивным меню для быстрого доступа ко всем функциям ПО.

- Множество видов плазмы могут быть собраны по щелчку мыши, а затем в реальном времени одновременно быть отслежены и математически обработаны.

 

============================

ООО "АЛЬЯНС-ПРО" - официальный представитель PLASUS в России.

 

Наш адрес: г. Санкт-Петербург, Вербная ул., д.10, кор.1
Телефон: +7 (812) 920 40 33
Эл. почта: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.